詳細
■ 設備の優位性
- 世界トップクラスの日本・浜松（HAMAMATSU）製マイクロ焦点X線源を採用し、X線源の使用寿命が長く、メンテナンス不要です。
- 画像検出器は左右45°まで傾斜可能で、独自の視点から試料の欠陥を観察し、試料に干渉することなく死角のない検査が可能です。
- 2.5マイクロメートル以下の欠陥を検出でき、検出の繰り返し精度が高く、半導体パッケージにおける金線の曲がりや断線を容易に識別できます。
- 超大型の作業台（520mm×520mm）を備え、大型の産業用制御基板や長尺のLEDストリップなどを設置でき、さまざまな分野の電子製品に対応します。
- 超大型の自動ナビゲーションウィンドウにより、マウスクリックでステージを指定位置へ移動でき、対象物の欠陥を迅速に特定して検査効率を向上させます。
- 編集可能な検査プログラムにより、CNCによる自動検査を実現。大量検査に適し、検査効率の向上とNG品の自動判定が可能です。
- 本製品は免除証明書を取得しており、放射線安全が確保されています。また、ユーザーは作業者の職業健康診断の受診および参加を免除できます。
- 「核技術の利用に関する放射線安全・防護試験」の合格取得に伴う業務や、設備の特定区域への設置等の関連業務。
■ X線検査機のパラメータ
| X線管 （日本・浜松） |
タイプ | 閉鎖式、マイクロ焦点斑 |
| 管電圧 | 90KV | |
| 管電流 | 200μA | |
| 焦斑のサイズ | 5μm～15μm | |
| 最大入力電力 | 8W | |
| X線ビーム角（円錐形） | 80 degree | |
| 倍率 | 幾何学的倍率150倍、システム倍率1500倍 | |
| 平板検出器 （イーライ） |
探査機のタイプ | 非晶質シリコン平面検出器 |
| 画像取得面積 | 130mm×130mm | |
| 感光素子のサイズ | 85μm | |
| ピクセルマトリックス | 1536×1536 | |
| 探査機の傾斜角 | 0～90°の視野角（左右各45°） | |
| 解像度 | 5.8Lp/mm | |
| 画像フレームレート（1×1） | 20fps | |
| ソフトウェア | 機能 | 気泡測定、寸法測定、バッチ検査、またはその他のカスタマイズ機能 |
| 知的財産権 | 自社開発により、ソフトウェアの独自の知的財産権を保有しています。 | |
| 遮蔽箱 | 素材 | 鋼板＋鉛＋鋼板のサンドイッチ構造によるシールドボックスで、放射線を効果的に遮蔽します。 |
| 安全性 | 放射線量当量率＜0.5μSv/h 国際基準を上回る。 | |
| サイズ | 1500mm（長さ）×1300mm（幅）×1800mm（高さ） | |
| 重量 | 約1500kg | |
| 安全保障 | 安全インターロック機能 | 安全扉が開いている間は、ライトチューブは点灯できません。ライトチューブが点灯している間は、自動的にロックされ、安全扉は閉じます。 |
| 電磁スイッチの保護機能 | 観察窓には電磁スイッチが設けられており、X線管が稼働中は観察窓を開けることができません。 | |
| 視覚ウィンドウ | 視認可能な透明窓を備え、装置の稼働中に窓から直接試料の状態を確認できます。 | |
| 緊急停止スイッチ | 操作台および装置本体の目立つ位置に非常停止スイッチを設置しており、緊急時にはこれを押下することで迅速に電源を遮断します。 | |
| 蛍光灯の自動保護機能 | 機器に一切の操作が行われない状態が5分間続いた場合、蛍光灯は直ちに自動的に電源を遮断し、保護モードへ移行します。 | |
| 放射線安全基準 | 自社製造の鋼・鉛・鋼構造の防護設計を採用し、前面ドアの窓には鉛含有ガラスを用いています。装置の任意の位置において、20mmの厚さで、 | |
| 測定された放射線量は0.5μSv/h未満で、国際基準の1μSv/h以下を上回っています。 | ||
| 機器の自動保護機能 | 設備のいずれかのドアや窓が開いた場合、直ちに蛍光灯を消灯し、停止保護状態に入ります。 |
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