詳細
■ 装置の利点
- 世界トップクラスの浜松（HAMAMATSU）マイクロフォーカスX線源を採用しており、寿命が長くメンテナンス不要です。
- 画像検出器は左右に45°傾けることができ、干渉や死角検出なしに独自の視点からサンプルの欠陥を観察できます。
- 2.5ミクロン以下の欠陥を検出でき、高い検出精度を持ちます。半導体パッケージの金線の曲がりや断線を簡単に識別できます。
- 超大型作業台（520MM×520MM）で、超大型産業用制御マザーボードや超長LEDライトバーを設置可能で、様々な電子製品分野に適しています。
- 超大型自動ナビゲーションウィンドウにより、マウスクリックでステージを指定位置に移動でき、製品の欠陥を素早く見つけて検査効率を向上させます。
- 編集可能な検査プログラムによりCNC自動検査が可能で、大規模検査に適し、検査効率を向上させNG製品を自動判定します。
- 本製品は免除証明書を取得しており、放射線安全が保証され、ユーザーは作業者の職業健康診断や参加から免除されます。
- 核技術利用放射線安全保護評価には、雇用証明取得や特定区域への機器設置などの支援作業が含まれます。
■ X線検査機 パラメータ
X線管 （日本浜松） | タイプ | 密閉型、マイクロフォーカス |
| 管電圧 | 90KV | |
| 管電流 | 200μA | |
| マイクロフォーカスサイズ | 5μm〜15μm | |
| 最大入力電力 | 8W | |
| X線ビーム角度（コーン） | 80 degree | |
| 増幅率 | 幾何学的倍率は150倍、システム倍率は1500倍です。 | |
フラットパネル検出器 （イー・ルイ） | プローブの種類 | アモルファスシリコンフラットパネル検出器 |
| 画像領域 | 130mm×130mm | |
| 感光ユニットのサイズ | 85μm | |
| ピクセルマトリックス | 1536×1536 | |
| プローブの傾斜角度 | 0〜90°（左右各45°） | |
| 解像度 | 5.8Lp/mm | |
| 画像フレームレート（1x1） | 20fps | |
| ソフトウェア | 機能 | 気泡測定、サイズ測定、バッチテストまたはその他のカスタム機能 |
| 知的財産権 | 独自研究開発で、ソフトウェアの知的財産権を有します。 | |
| 遮断ボックス | 材質 | 鋼＋鉛＋鋼板のサンドイッチ構造遮蔽ボックスで、放射線を効果的に遮断します。 |
| 安全性 | 放射線量当量率<0.5μSV/H未満で、国際基準を上回っています。 | |
| サイズ | 1500mm（長さ）1300mm（幅）1800mm（高さ） | |
| 重量 | 約1500Kg | |
| 安全対策 | 安全インターロック機能 | 安全扉が開いているときは光管を開けられず、光管が開いているときは自動ロックがかかり安全扉が閉まります。 |
| 電磁スイッチ保護機能 | 観察窓には電磁スイッチが装備されており、X線管が作動中は観察窓を開けられません。 | |
| 視認可能窓口 | 視認可能な透明窓口を備えており、装置の操作中に窓から直接サンプルを観察しやすくなっています。 | |
| 緊急停止スイッチ | 緊急停止スイッチは操作台と装置本体の目立つ位置にあり、緊急時に押すと電源を迅速に遮断します。 | |
| 光管の自動保護機能 | 5分間操作がないと光管は自動的に電源を切り、保護状態に入ります。 | |
| 放射線安全基準 | 鋼・鉛・鋼の保護構造は自社製で、前扉の視窓は鉛ガラス製です。装置の20mmの任意の位置で測定された放射線量<0.5μSV/H、国際基準≤1μSV/Hを上回る。 | |
| 装置の自動保護機能 | 装置のいずれかの扉や窓が開くと、直ちに光管を閉じてシャットダウン保護状態に入ります。 |
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